表面波励起プラズマを用いた円筒内面DLC成膜の高速化に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08030

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/05/24

タイトル(英語): Study on speed-up of diamond-like carbon deposition to the inner wall of tube by using surface wave-excited plasma source

著者名: 上坂 裕之(名古屋大学),岸根 翔(名古屋大学),梅原 徳次(名古屋大学)

著者名(英語): Hiroyuki Kousaka(Nagoya University),Sho Kishine(Nagoya University),Noritsugu Umehara(Nagoya University)

キーワード: 表面波励起プラズマ|円筒内面|DLC|高速成膜|マイクロ波|Surface wave-excited plasma|Inner wall of pipe|Diamond-like carbon|High-speed deposition|microwave

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 511 Kバイト