対向電極型大電力パルススパッタ（HPPS）グロー放電と195kHz-RF放電によるハイブリッド放電の電気的特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08031

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/05/24

タイトル(英語): The electrical characteristic of the hybrid electric discharge by confrontation-electrode type-high power pulsed spattering (HPPS) glow discharge with 195 kHz-RF electric discharges

著者名: 佐久間 雄基(同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Yuki Sakuma(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|高周波放電|ハイブリッドプラズマ|大電力パルススパッタ|pulse electric discharge plasma|glow discharge|high frequency electric discharge|hybrid plasma|high-power pulsed sputtering

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 582 Kバイト