プラズマフォーカスにおける高強度パルスビームを利用した薄膜生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08032

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/05/24

タイトル(英語): Deposition of thin film using intense pulsed beam in plasma focus device

著者名: 伊藤弘昭(富山大学),中田洋平(富山大学),西野勇紀(富山大学),王植平(富山大学),H.R.Yousefi(富山大学),升方勝己(富山大学)

著者名(英語): Hiroaki Ito|Youhei Nakata|Yuuki Nishino|Hamid Reza Yousefi|Katsumi Masugata

キーワード: プラズマフォーカス|アブレーションプラズマ|ダイヤモンドライクカーボン|plasma focus|ablation plasma|diamond like carbon

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 724 Kバイト