金属部品の細穴内面処理のためのマイクロ波励起高密度プラズマ生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08035

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/05/24

タイトル(英語): Microwave-excited high-density plasma generation for coating the inner surface of narrow hall of metal parts

著者名: 上坂 裕之(名古屋大学),門脇 慎之介(名古屋大学),梅原 徳次(名古屋大学)

著者名(英語): Hiroyuki Kousaka(Nagoya University),Shinosuke Kadowaki(Nagoya University),Noritsugu Umehara(Nagoya University)

キーワード: マイクロ波|シース|高密度プラズマ|細穴内面|金属部品|Microwave|Sheath|High-density plasma|Inner surface of narrow hall|Metal parts

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 726 Kバイト