アモルファス炭素膜の成膜機構

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08039

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/07/04

タイトル(英語): Growth mechanism of an amorphous carbon film

著者名: 篠原 正典(長崎大学),松田 良信(長崎大学),藤山 寛(長崎大学),中谷 達行(トーヨーエイテック)

著者名(英語): Masanori Shinohara(Nagasaki University),Yoshinobu Matsuda(Nagasaki University),Hiroshi Fujiyama(Nagasaki University),Tatsuyuki Nakatani(TOYO a-tec Ltd.)

キーワード: アモルファス炭素膜|メタンプラズマ|多重内部反射赤外分光法|基板温度依存性|炭化水素|水素|Amorphous carbon|methane plasma|infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS)|hydrocarbon|Hydrogen

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 426 Kバイト