低圧プラズマイオン蒸着によるダイヤモンド形成のメカニズム

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08042

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/07/04

タイトル(英語): Mechanism of diamond formation in low-pressure, ion-enhanced deposition

著者名: 堤井君元 (九州大学),高妻 豊(九州大学)

著者名(英語): Kungen Teii(Kyushu University),Yutaka Kouzuma(Kyushu University)

キーワード: ダイヤモンド|プラズマCVD|イオン衝撃|アモルファスカーボン|diamond|plasma CVD|ion bombardment|amorphous carbon

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 519 Kバイト