ハイパワーパルススパッタ（HPPS）マグネトロン放電の電気的特性および発光スペクトル

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08043

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/07/04

タイトル(英語): Electrical property and spectrum of high power pulsed sputtering (HPPS) Magnetron discharge

著者名: 加藤博貴 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Hiroki Kato(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD)

キーワード: HPPS|パルスマグネトロンスパッタ|Ti|HPPS|Pulsed magnetron sputtering|Ti

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 490 Kバイト