対向電極型ハイパワーパルススパッタ（HPPS）グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面のプラズマ密度

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08044

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/07/04

タイトル(英語): Drawing out metallic ions from confronted electrode High Power Pulse Sputter(HPPS) glow discharge and plasma density on the sample holder

著者名: 三枝亮介 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Ryosuke Mieda(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|発光スペクトル|プラズマ密度|イオンシース|シース抵抗|HPPS|HIPIMS|HPPMS|Pulsed discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|Sputter|Emission spectra|Plasma density|ion sheath|sheath resistance|HPPS|

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 586 Kバイト