ハイパワーパルススパッタグロー放電（HPPS）におけるプラズマ負荷特性の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08046

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/07/05

タイトル(英語): Study of plasma load characteristic in High Power Pulse Sputter (HPPS) glow discharge

著者名: 東 欣吾(兵庫県立大学),三枝亮介 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Kingo Azuma(University of Hyogo),Ryosuke Mieda(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|電流密度|プラズマ密度|プラズマイオンプロセス|イオンシース|Pulsed discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|Sputter|Current density|Plasma density|Plasma ion process|ion sheath

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 686 Kバイト