周波数シフトプローブの電子温度計測への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08058

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/10/31

タイトル(英語): Application of frequency shift probe for electron temperature measurements

著者名: 張祺 (中部大学),中村 圭二(中部大学),菅井 秀郎(中部大学)

著者名(英語): Zhang Qi(Chubu university),K. Nakamura(Chubu university),H. Sugai(Chubu university)

キーワード: 周波数シフトプローブ，電子密度，スリット幅，シース効果Frequency shift probe| Electronic temperature| Slit width| Sheath effets

要約(英語): This paper reports on sheath effects on resonance frequencies on frequency shift (FS) probes, and application of the probes for electron density measurements. The sheath effects were investigated by electromagnetic field analysis with FDTD simulation, and

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 522 Kバイト