Ar-N2-H2パルス変調誘導熱プラズマにおける窒素系粒子数変化の分光学的検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08059

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/10/31

タイトル(英語): Spectroscopic investigation on behaviors of excited nitrogen and hydrogen atoms in Ar-N2-H2 pulse modulated induction thermal plasmas

著者名: 伊藤 智幸(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Tomoyuki Ito(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 熱プラズマ|パルス変調誘導熱プラズマ|励起窒素原子|励起水素原子|NH分子|発光スペクトル|Thermal plasma|pulse modulated induction thermal plasma|excited nitrogen atom|excited hydrogen atom|NH molecule|emission spectra

要約(日本語): ハイパワーAr-N2-H2 誘導熱プラズマにおいて，コイル電流のパルス変調が時間平均粒子構成にどのような影響を与えるのかの実験的検討を行った。分光観測結果から，時間平均入力電力が同じ条件では，パルス変調によってN，H原子の時間平均強度は上昇することがわかった。またパルス変調プラズマ照射時のチタン表面温度は，定常状態のプラズマによる照射と比較して温度上昇が小さいことがわかった。以上から，コイル電流のパルス変調は励起Nおよび励起H原子を定常状態に比べて増加させることができ，金属表面での熱流束を減少させることが

要約(英語): Effect of pulse modulation of the coil current sustaining a high-power Ar-N2-H2 induction thermal plasma was experimentally studied on the time-averaged particle composition of the thermal plasmas. Spectroscopic observation was carried out to find that ti

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 649 Kバイト