任意波形変調誘導熱プラズマの動的挙動と負荷変動特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08060

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/10/31

タイトル(英語): Dynamic behavior of Arbitrary-waveform Induction Thermal Plasmas as an Electric Load.

著者名: 坪川 祐樹(金沢大学),ファリスエズワン (金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Yuki Tsubokawa(Kanazawa University),Farees Ezwan(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 変調誘導熱プラズマ|MOSFETインバータ|PLL制御|IGBT dc-dcチョッパー回路|温度制御|Modulated induction thermal plasma|MOSFET inverter|PLL control|IGBT dc-dc chopper circuit|temperature control

要約(日本語): 熱プラズマの温度と反応場を効率的にさらに詳細に制御するために，近年，筆者らは高電力用MOSFETとIGBTを用いた任意波形変調誘導熱プラズマ(AMITP；Arbitrary-waveform Modulated Induction Thermal Plasma)を開発した。このAMITPはコイル電流の振幅を外部から与えられた任意波形に追随するように制御することができる。本報告では，電気回路，負荷の立場からArおよびAr-H2 AMITPの基礎的な動的挙動について検討した結果を示す。このアプローチでは，誘導

要約(英語): The arbitrary-waveform modulated induction thermal plasma (AMITP) system has been developed to control temperature and reaction fields in thermal plasmas more effectively using a high-power semiconductor power supply with MOSFETs and IGBTs. In this report

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 684 Kバイト