ハイパワーパルススパッタグロー放電（HPPS）から引き出されたプラズマとイオン電流に関する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08062

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/10/31

タイトル(英語): Study of plasma and ion current pull out from High Power Pulse Sputter (HPPS) glow discharge

著者名: 東 欣吾(兵庫県立大学),三枝亮介 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Kingo Azuma(University of Hyogo),Ryosuke Mieda(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hirosi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|電流密度|プラズマ密度|Pulsed discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge| Sputter|Current density|Plasma density

要約(日本語): ＨＰＰＳ放電はキロワット級のグロープラズマを生成できるアークフリーな放電である。対向する２つの陰極は磁束を横切るように配置されるため、陰極から放出される電子は陰極間に閉じ込められる。負極性の高電圧パルスを陰極に印加すると高密度の金属イオンが得られる。本報告では、プラズマ生成ユニットの対面に配置したサンプルホルダー電極にパルス電圧を印加し、ホルダー電極に引き込まれるイオン電流について検討した。

要約(英語): High Power Pulse Sputter (HPPS) glow discharge is an arc-free discharge that is able to generate glow plasma as a kilowatt power level. Since a pair of confronted cathodes are emitted across magnetic flux, electrons generated from the cathodes are confine

原稿種別: 日本語

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