永久磁石利用発散型プラズマ源の基礎特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08064

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/10/31

タイトル(英語): Basic characteristics of an expanding plasma using permanent magnets

著者名: 小国 薫(岩手大学),高橋 和貴(岩手大学),藤原 民也(岩手大学)

著者名(英語): Kaoru Oguni(Iwate University),Kazunori Takahashi(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University)

キーワード: 高周波プラズマ|発散磁場|永久磁石|ダブルレイヤー|radiofrequency|expanding magnetic-field|permanent magnet|double layer

要約(日本語): 高効率無電極電気推進機への応用を目的として，永久磁石を利用したイオンビーム励起対応の高周波励起発散プラズマの開発を開始しており，既に急激なプラズマ電位降下，及び付随するイオンビーム形成に成功している．上記プラズマ源の高密度化を最終的な目標として，今回，高周波電力，永久磁石による磁場配位を変化させてプラズマ密度の半径方向及び軸方向分布を詳細に調べたところ半径方向には一様な分布となり，軸方向には減少が見られた．また，磁場配位を不均一にすることで高密度化が図れる可能性があり，今回行った実験ではプラズマ源上流部に

要約(英語): The axial and radial profiles of the plasma density in an expanding plasma produced by 13.56 MHz radiofrequency discharge is experimentally investigated, where the diverging magnetic-field configurations are produced by the double permanent magnets (PMs)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 537 Kバイト