マイクロ磁化プラズマの生成とチューブ内壁処理への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08065

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/10/31

タイトル(英語): Generation of Magnetized Microplasma and Its Application to a Treatment for a Tube Inner Wall

著者名: 吉木 宏之(鶴岡高専)

著者名(英語): Hiroyuki Yoshiki(Tsuruoka Natl. College of Technology)

キーワード: He マイクロプラズマ，石英管，13.56 MHz，E×B ドリフト，平均自由行程，チューブ内壁，SiO2 薄膜，TEOSHe microplasma| quartz tube| 13.56 MHz| E×B drift| mean free path| tube inner wall| SiO2 thin film| TEOS

要約(英語): The effect of a static magnetic field on microplasma generated in a quartz tube by a parallel-plate RF (13.56MHz) excitation was studied. If the external magnetic field is perpendicular to both RF electric field and a tube axis and the Larmor radius of el

原稿種別: 日本語

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