ナノダイヤモンド膜の形成機構と電気伝導特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08066

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/10/31

タイトル(英語): Growth mechanism and electrical conduction properties of nanodiamond films

著者名: 池田 知弘(九州大学),堤井 君元(九州大学)

著者名(英語): Tomohiro Ikeda(Kyushu University),Kungen Teii(Kyushu University)

キーワード: ナノダイヤモンド、プラズマCVD、C2ラジカル、n型伝導性nanodiamond; plasma CVD| C2 radicals| n-type conduction

要約(英語): The authors investigate a possible route to phase-pure nanocrystalline diamond (nanodiamond) films and related growth mechanisms by enhancing C2 dimer growth chemistry in microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition. The authors also investigate n-

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 562 Kバイト