大気圧マイクロ波H2Oプラズマのラジカル密度の軸方向分布

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08074

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/11/01

タイトル(英語): Axial profiles of the radical density in the atmospheric pressure microwave H2O plasma

著者名: 鈴木 佑太(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Yuta Suzuki(Musashi Institude of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institude of Technology)

キーワード: 大気圧プラズマ|マイクロ波|H2O|OHラジカル|atmospheric pressure plasma|microwave|H2O|OH radical

要約(日本語): 大気圧マイクロ波プラズマは高密度であるので、その反応性は非常に高くなります。効率的なプラズマ応用のために、基礎的なプラズマ特性を分析することは非常に重要です。この研究の目的は基本的なプラズマ諸量を測定しています。O、HおよびOHラジカルの軸の変化は分光器の手法によって測定されました。また、この結果は数値計算法の結果と同じ傾向を示した。

要約(英語): Atmospheric microwave plasma becomes very high density, so its reactivity is expected to be very high. It is very important to analyze the fundamental plasma characteristic for the efficient plasma application. The objective of this work is measuring the

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 740 Kバイト