集束イオンビームで形成した多孔質Ge表面構造のプラズマ処理による改質の可能性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08083

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/19

タイトル(英語): Formation of porous structures on Ge surfaces by focused ion beam irradiation and possibility of their modification using plasma processes

著者名: 柳沢 淳一(滋賀県立大学)

著者名(英語): Junichi Yanagisawa(The University of Shiga Prefecture)

キーワード: 集束イオンビーム(FIB)|ゲルマニウム(Ge)|ナノ多孔質構造|プラズマ処理|表面改質|focused ion beam(FIB)|germanium (Ge)|nano porous structures|plasma processes|surface modification

要約(英語): Swelled porous structures in nano-meter scale on Ge surfaces formed by focused Ga ion beam irradiation have very large surface area compared with thier volume. If the surface of such structures is changed to other materials, highly functional surfaces can

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,032 Kバイト