マイクロ波励起高密度プラズマCVDによって細穴内面に成膜されたDLC膜の摩擦摩耗特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08084

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/19

タイトル(英語): Tribological properties of diamond-like carbon film deposited on inner surface of narrow tube by using microwave-excited high-density plasma CVD

著者名: 上坂 裕之(名古屋大学),森 一憲(名古屋大学),梅原 徳縞(名古屋大学),近藤 明弘(岐阜大学),田村 登((有)CCS),進藤 豊彦((有)CCS)

著者名(英語): Hiroyuki Kousaka(Nagoya University),Kazunori Mori(Nagoya University),Noritsugu Umehara(Nagoya University),Akihiro Kondo(Gifu University),Noboru Tamura(Contamination Control Services Inc.),Toyohiko Shindo(Contamination Control Services Inc.)

キーワード: マイクロ波|高密度プラズマ|細穴内面|金属部品|プラズマCVD|DLC|Microwave|High-density plasma|Inner surface of narrow hall|Metal parts|Plasma-enhanced Chemical Vapor Depositio|Diamond-like carbon

要約(日本語): 金型やしゅう動部品の内面にDLC成膜を行いたいというニーズがある．今回，従来法では成膜が困難であった内径4.4 mm，長さ50 mmの細長いステンレス鋼製パイプの内面に，新しく開発したマイクロ波励起高密度プラズマCVDを用いてDLC成膜を行った．平均膜厚は3.8 μmであった．得られたDLC膜とSUJ2鋼製のピン（先端径1.6 mm）との往復しゅう動試験を行ったところ，押し込み硬さ10 GPa（押し込み荷重10 mgf）を有する箇所においては約0.17の摩擦係数が計測された．

要約(英語): We have proposed the use of microwave-excited high-density plasma column for the surface treatment of narrow halls of metal parts where the inner diameter of the hall is less than 10 mm. By injecting microwaves along the inner wall of metallic hall, high

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 760 Kバイト