中間気圧から大気圧へのガス圧増加に伴うヘリウム直流グロー放電プラズマ構造の変化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08094

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/19

タイトル(英語): Variation of Discharge Properties in Helium DC Glow Discharge Plasmas in case of Increasing Gas Pressure from Middle Pressure to Atmospheric Pressure

著者名: 小田 昭紀(名古屋工業大学),木村 高志(名古屋工業大学)

著者名(英語): Akinori Oda(Nagoya Institute of Technology),Takashi Kimura(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 直流グロー放電|ヘリウム|中間気圧|大気圧|放電シミュレーション|流体モデル|DC Glow Discharge|Helium|Middle Pressure|Atmospheric Pressure|Discharge Simulation|Fluid Model

要約(日本語): 空間１次元流体モデルによるシミュレーションによりヘリウムガス直流グロー放電特性のガス圧力依存性を調査した。５０Ｔｏｒｒから７６０Ｔｏｒｒまでの広範囲なガス圧力時の計算結果から、放電ギャップ間電圧のガス圧力依存性が、２００Ｔｏｒｒ時の約３００Ｖの電圧を極小値に持つ下に凸の傾向を示した。それとは対照的に、放電電流のガス圧力依存性は、同ガス圧力時の約３．４ｍＡの電流を極小値に持つ下に凸の傾向を示した上に凸の傾向であった。また、ガス圧力が荷電粒子数密度や電界強度、ガス温度の空間分布に与える影響に関しても検討を行っ

要約(英語): Gas-pressure dependence of discharge properties in helium dc glow discharges has been examined using a spatially one-dimensional fluid model. From calculation results in wide gas-pressure range from 50 Torr to 760 Torr, it was found that the tendency of t

原稿種別: 日本語

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