コロナ放電イオナイザーによる除電の計算機シミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08095

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/19

タイトル(英語): Computer simulation of neutralization by a corona discharge ionizer

著者名: 池内 達(岩手県),高橋 和貴(岩手大学),大久保 貴広(岩手大学),藤原 民也(岩手大学)

著者名(英語): Toru Ikeuchi(Iwate Prefecture),Kazunori Takahashi(Iwate University),Takahiro Okubo(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University)

キーワード: 除電|イオナイザー|コロナ放電|計算機シミュレーション|数値解析|electrostatic neutralization|ionizer|corona discharge|computer simulation|numerical analysis

要約(日本語): コロナ放電イオナイザーによる除電の計算機シミュレーションを報告する。対象とするイオナイザーは２本の針電極を有しており、一方の電極には50Hz、約2.5kV(実効値)の交流電圧を印加する。もう一方にはイオンバランス調整のため約+5Kvの直流電圧が印加された。計算の基礎方程式は、電子と正イオンに対する連続の式とポアッソンの方程式である。これら連立して、差分法により時間的に逐次計算する。電子と正イオンの時間的空間的変化が計算で得られた。電圧印加から間もない時間帯では、電子密度が正イオン密度よりも非常に大きく、時

要約(英語): A computer simulation has been performed for comparison with the experiment of neutralization by a corona discharge ionizer. In the experiment an electrostatic neutralization of silicon wafers was made using a corona discharges by two needle-electrodes. S

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 534 Kバイト