フロン系プラズマのシミュレーションと実験的検証

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08096

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/19

タイトル(英語): Simulation and Experimental Verification of Fluorocarbon Plasmas

著者名: 中村 圭二＊板津史明田中正明(ペガサスソフトウェア)

著者名(英語): K. Nakamura(PEGASUS Software Inc.),F. Itazu M. Tanaka (PEGASUS Software Inc.)

キーワード: フロロカーボンプラズマ、電子密度、プラズマシミュレータ、表面波プローブFluorocarbon plasma| Electron density| Plasma simulator| Surface wave probe

要約(英語): This paper reports on simulation and experimental verification of argon-diluted fluorocarbon plasmas produced by inductively-coupled discharges, especially for characteristics of electron densities such as spatial distribution, dependence on discharge pow

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 705 Kバイト