発光スペクトルにみるハイパワーパルススパッタ（HPPS）グロー放電における磁界の効果

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08097

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/19

タイトル(英語): The Magnetic effect on the optical emissions with High Power Pulse Sputter (HPPS) glow discharge

著者名: 東 欣吾(兵庫県立大学),三枝亮介 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(㈱神戸製鋼所),沖本 忠雄(㈱神戸製鋼所)

著者名(英語): Kingo Azuma(University of Hyogo),Ryosuke Mieda(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hirosi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|発光分光|プラズマイオンプロセス|Pulsed discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|Sputter|Optical spectroscopy|Plasma ion process

要約(日本語): ＨＰＰＳ放電はキロワット級のグロープラズマを生成できるアークフリーな放電である。対向する２つの陰極は磁束を横切るように配置されるため、陰極から放出される電子は陰極間に閉じ込められる。負極性の高電圧パルスを陰極に印加すると高密度の金属イオンが得られる。本報告では、プラズマ生成ユニットの陰極ギャップから放出される発光スペクトルを分析し、磁界が放電を安定化させ、金属イオンの電離を促進することがわかった。

要約(英語): High Power Pulse Sputter (HPPS) glow discharge is an arc-free discharge that is able to generate glow plasma as a kilowatt power level. Since a pair of confronted cathodes is emitted across magnetic flux, electrons generated from the cathodes are confined

原稿種別: 日本語

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