対向電極型大電力パルススパッタ（HPPS）グロー放電と195 kHz-RF放電のハイブリッド放電におけるガス変化による電気的特性の違い

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08098

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/20

タイトル(英語): The electrical characteristic difference of the hybrid discharges by counter electrode type-high power pulsed spattering (HPPS) glow discharges with 195 kHz-RF discharges.

著者名: 佐久間 雄基(同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(㈱神戸製鋼所),沖本 忠雄(㈱神戸製鋼所)

著者名(英語): Yuki Sakuma(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|高周波放電|ハイブリッドプラズマ|大電力パルススパッタ|pulse electric discharge plasma|glow discharge|high frequency electric discharge|hybrid plasma|high-power pulsed sputtering

要約(日本語): 私達はHPPSとRFを使ったハイブリッド放電について実験した。まず、RF放電開始前にHPPSのパルス電圧を印加する時、RF放電の開始時刻がどのような変化があるか調べ、次に、ハイブリッド放電においてHPPSのパルス電圧印加時刻の変化させる時、電流値にどのような変化があるのかを調べた。その結果、ハイブリッドにすることによってRF放電のみの時と比べ高い圧力でRF放電が見られた。そして、HPPSのピーク電流値はRF放電中にパルス電圧を印加するときが最も高い値を示した。

要約(英語): We experimented about the hybrid discharges by counter electrode type-high power pulsed spattering (HPPS) glow discharges with 195 kHz-RF discharges. First, it investigated time of starting RF discharge when the pulse voltage of HPPS is impressed before s

原稿種別: 日本語

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