ナノ結晶ダイヤモンド薄膜ＣＶＤ用大電力および大面積表面波励起プラズマ装置

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08106

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/20

タイトル(英語): High-power and large-area surface-wave excited plasmas for nanocrystalline diamond film CVDs

著者名: 金 載浩(産業技術総合研究所),津川 和夫(産業技術総合研究所),石原 正統(産業技術総合研究所),長谷川 雅考(産業技術総合研究所),古賀 義紀(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Jaeho Kim(AIST),K. Tsugawa(AIST),M. Ishihara(AIST),M. Hasegawa(AIST),Y. Koga(AIST)

キーワード: 表面波プラズマ|マイクロ波プラズマ|スロット・アンテナ|気相化学合成|ナノ結晶ダイヤモンド薄膜|surface wave plasma |microwave plasma|slot antenna|chemical vapor deposition|nanocrystalline diamond film

要約(英語): A large-area plasma chemical vapor deposition (CVD) system with the high density, high uniformity and high operation power is indispensable for the successful industrialization of nanocrystalline diamond (NCD) films and their applications. We developed an

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 803 Kバイト