リング状溝電極を用いた高密度高周波プラズマ生成とその空間構造

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08109

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/20

タイトル(英語): Production of high density radio frequency plasma using a powered electrode with a ring-shaped trench and its spatial structure

著者名: 大津 康徳(佐賀大学),浦崎 浩史(佐賀大学),三沢 達也(佐賀大学),藤田 寛治(佐賀大学)

著者名(英語): Yasunori Ohtsu(Saga University),Hiroshi Urasaki(Saga University),Tatsuya Misawa(Saga University),Hiroharu Fujita(Saga University)

キーワード: リング状溝電極|高周波ホロー陰極効果|容量結合放電|ring-shaped trench|radio-frequency hollow cathode effect|capacitively coupled discharge

要約(英語): Uniform high-density plasma operated by radio-frequency capacitive discharge has developed using a powered electrode with a ring-shaped trench for thin film preparation. A maximum plasma density with a magnitude of 10^11cm^-3 was attained at Ar gas pressu

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 554 Kバイト