微細ガス流を用いた高周波コロナマイクロ放電とその応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08113

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/20

タイトル(英語): The generation and application of corona microdischarge by RF operation using miniature gas flow

著者名: 久納一亮 (東京工業大学),柳 重幸(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Kazusuke Kuno(Tokyo Institute of Technology),Shigeyuki Yanagi(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|プラズマジェット|高周波電力|コロナ放電|表面処理|microplasma|plasma jet|RF power|corona discharge|surface treatment

要約(英語): An atmospheric pressure radio-frequency (RF) corona microdischarge using miniature gas flow was examined. We discussed the mechanism of corona discharge based on the measurement of the length of plasma from the nozzle and the optical emission spectra. We

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,490 Kバイト