対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面における発光スペクトル

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST08120

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2008/12/20

タイトル(英語): Drawing out metallic ions from confrontation-electrode type-High Power Pulse Sputter(HPPS) glow discharge and emission spectra on the sample holder.

著者名: 三枝亮介 (同志社大学),行村 建(同志社大学),東 欣吾(兵庫県立大学),玉垣 浩(㈱神戸製鋼所),沖本 忠雄(㈱神戸製鋼所)

著者名(英語): Ryosuke Mieda(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Kingo Azuma(Hyogo University),Hiroshi Tamagaki(KOBE Steel,LTD),Tadao Okimoto(KOBE Steel,LTD)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|発光スペクトル|プラズマ密度|イオンシース|Pulsed discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|Emission spectra|Plasma density|Ion sheath

要約(日本語): 大電力密度の金属プラズマ源である対向電極型HPPS（ハイパワーパルススパッタ）を提案する。本報告では電圧、電流を観測し、それについて基本的特性を検討する。また、サンプルホルダに電圧を印加してサンプルホルダ周辺の発光スペクトルの観測を行い、プラズマがどこまで広がっているのかを観測する。

要約(英語): We propose that the metal plasma source that uses the magnetic field is generated by a new method. It differs from the conventional magnetic sputter because the electric field and the magnetic field are in parallel. This plasma is droplet free, and a high

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 672 Kバイト