High Power Impulse Magnetron Sputtering and its Applications

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09004

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/06/12

タイトル(英語): High Power Impulse Magnetron Sputtering and its Applications

著者名: Arutiun P.Ehiasarian (Sheffield Hallam University)

著者名(英語): Arutiun P.Ehiasarian(Sheffield Hallam University)

キーワード: HIPIMS|High power impulse magnetron sputtering|HIPIMS|High power impulse magnetron sputtering

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,565 Kバイト