DLC成膜用ハイドロカーボンプラズマのシミュレーション?原料ガスの違いがプラズマ特性へ与える影響?

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09005

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/06/12

タイトル(英語): Simulation of Hydrocarbon Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating-Influence of Gas Addition on the Plasma Properties-

著者名: 小田 昭紀(名古屋工業大学),木村 高志(名古屋工業大学),上坂 裕之(名古屋大学)

著者名(英語): Akinori Oda(Nagoya Institute of Technology),Takashi Kimura(Nagoya Institute of Technology),Hiroyuki Kousaka(Nagoya University)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン成膜|炭化水素プラズマ|容量結合型プラズマ|流体モデル|シミュレーション|diamond-like carbon coating|hydrocarbon plasmas|capacitively-coupled plasmas|fluid model|simulation

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 551 Kバイト