大気圧マイクロ波酸素プラズマによる金属表面クリーニング

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09008

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/06/12

タイトル(英語): Metal Surface Cleaning using Atmospheric Pressure Microwave Oxygen Plasma

著者名: 小野 茂(東京都市大学),菅沼 拓也(東京都市大学),鈴木 佑太(東京都市大学)

著者名(英語): Shigeru Ono(Tokyo City University),Takuya Suganuma(Tokyo City University),Yuta Suzuki(Tokyo City University)

キーワード: 酸素ラジカル|プラズマクリーニング|水接触角|大気圧プラズマ|触媒プローブ|Oxygen radical|Plasma cleaning|Water contact angle|Atmospheric pressure plasma|Catalytic probe

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 676 Kバイト