誘導結合プラズマ支援スパッタによるアルミ添加酸化亜鉛薄膜の作成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09017

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/06/13

タイトル(英語): Deposition of aluminum-doped zinc oxide thin films by inductively-coupled plasma assisted sputtering

著者名: 岩田 忠(長崎大学),閑亮史 (長崎大学),小峰一輝 (長崎大学),篠原 正典(長崎大学),松田 良信(長崎大学)

著者名(英語): Tadashi Iwata(Nagasaki University),Ryoji Kan(Nagasaki University),Kazuki Konine(Nagasaki University),Masanori Shinohara(Nagasaki University),Yoshinobu Matsuda(Nagasaki University)

キーワード: 酸化亜鉛|アルミ添加|誘導結合プラズマ|スパッタリング|透明導電膜|Zinc oxide|aluminum dope|inductively coupled plasma|sputtering|transparent conductive film

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 740 Kバイト