スパッタリング成膜法を用いた円筒棒外壁コーティングの試み

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09018

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/06/13

タイトル(英語): Trial of cylinder rod surface coating using sputtering deposition method

著者名: 川崎 仁晴(佐世保高専),須田 義昭(佐世保高専),大島 多美子(佐世保高専),柳生義人 (佐世保高専)

著者名(英語): Hiroharu Kawasaki(Sasebo National College of Technology),Yoshiaki Suda(Sasebo National College of Technology),Tamiko Ohshima(Sasebo National College of Technology),Yoshihito Yagyu(Sasebo National College of Technology)

キーワード: マグネトロンスパッタ|変調磁界|ハードコーティング|耐摩耗性|耐腐食性|Magnetron sputtering|Modulated magnetic filed|Hard coating|Corrosion resistance|Friction resistance

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 669 Kバイト