リング状ホロー電極を用いた容量結合型プラズマの高密度化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09021

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/06/13

タイトル(英語): High density capacitive coupled plasma using ring-shaped hollow electrode

著者名: 浦崎 浩史(佐賀大学),三沢 達也(佐賀大学),大津 康徳(佐賀大学),藤田 寛治(佐賀大学)

著者名(英語): Hiroshi Urasaki(Saga University),Tatsuya Misawa(Saga University),Yasunori Ohtsu(Saga University),Hiroharu Fujita(Saga University)

キーワード: リング状溝電極|高周波ホロー陰極効果|容量結合放電|ring-shaped trench|radio-frequency hollow cathode effect|capacitively coupled discharge

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 532 Kバイト