マイクロ波励起による希ガス混入酸素プラズマの特性解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09025

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/08/06

タイトル(英語): Measurement of oxygen-rare gas mixed microwave-discharge plasmas

著者名: 高井 渉(東京工業大学),根津 篤(東京工業大学),松浦 治明(東京工業大学),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Wataru Takai(Tokyo Institute of Technology),Atsushi Nezu(Tokyo Institute of Technology),Haruaki Matsuura(Tokyo Institute of Technology),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 発光分光計測|酸素プラズマ|希ガスプラズマ|振動温度|回転温度|OES|oxygen plasma|rare gas plasmas|vibrational temperature|rotational temperature

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 570 Kバイト