シャンティングアークの並列駆動と炭素成膜

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09052

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/08/07

タイトル(英語): Parallel Operation of Shunting Arc Discharges and Preparation of Carbon Film.

著者名: 高木 浩一(岩手大学),青木 宏憲(岩手大学),村上 貴之(岩手大学),向川 政治(岩手大学),藤原 民也(岩手大学),行村 建(同志社大学)

著者名(英語): Koichi Takaki(Iwate University),Hironori Aoki(Iwate University),Takayuki Murakami(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University),Ken Yukimura(Doshisha University)

キーワード: シャンティングアーク|プラズマイオン注入|DLC膜|Ti|Shunting arc|plasma-based ion implantation|DLC film|Ti.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 717 Kバイト