窒素?希ガス混合マイクロ波放電プラズマの発光分光計測とダブルプローブ計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09054

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/08/08

タイトル(英語): Optical Emission Spectroscopy and Double Probe Measurement of Microwave Nitrogen-Rare Gas Discharge Plasma

著者名: 桑野 慧(東京工業大学),根津 篤(東京工業大学),松浦 治明(東京工業大学),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Kei Kuwano(Tokyo Institute of Technology),Atsushi Nezu(Tokyo Institute of Technology),Haruaki Matsuura(Tokyo Institute of Technology),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 発光分光計測|ダブルプローブ計測|窒素プラズマ|希ガスプラズマ|振動温度|回転温度|電子温度|電子密度|OES|double probe method|nitrogen plasma|rare gas plasma|vibration temperature|rotation temperature|electron temperature|electron density

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 646 Kバイト