周波数シフトプローブを用いた電子状態のモニタリング

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09064

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/08/08

タイトル(英語): Electron Monitoring with Frequency Shift Probe

著者名: 中村圭二 (中部大学),金徐州 (中部大学),張祺 (中部大学),菅井秀郎 (中部大学)

著者名(英語): K.Nakamura (Chubu University),J.Xu (Chubu University),Q.Zhang (Chubu University),H.Sugai (Chubu University)

キーワード: 周波数シフトプローブ|マイクロ波共振プローブ|電子密度|電子衝突周波数|大気圧プラズマ|Frequency shift probe|Microwave resonator probe|electron density|Electron collision frequency|Atmospheric pressure plasma

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 692 Kバイト