燃焼炎ダイヤモンド合成法における燃焼炎冷却による基材への入熱低減効果

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09083

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/08/09

タイトル(英語): Effect on Diminishment of Heat Flux to Substrate by Cooling Combustion in Combustion Flame Method

著者名: 安藤康高 (足利工業大学)

著者名(英語): Yasutaka Ando(Ashikaga Institute of Technology)

キーワード: 燃焼炎法|ダイヤモンド|CVD|熱プラズマ|表面改質|Combustion flame method|Diamond|CVD|Thermal plasma|Surface modification

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,095 Kバイト