対向電極型大電力パルススパッタグロー放電のガス変化における発光スペクトルの解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09087

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/08/09

タイトル(英語): The optical characteristic of gas change in confrontation electrode type High Power Pulsed Sputter(HPPS)glow discharge.

著者名: 佐久間 雄基(同志社大学),行村 建(同志社大学),東 欣吾(兵庫県立大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Yuki Sakuma(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Kingo Azuma(University of Hyogo),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|高周波放電|ハイブリッド放電|大電力パルススパッタ|pulse electric discharge plasma|glow discharge|high frequency electric discharge|Hybrid electric discharge|high-power pulsed spattering

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 627 Kバイト