Ar-N2-H2パルス変調誘導熱プラズマによるチタンの表面窒化の付加ガス混入法の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09116

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/11/13

タイトル(英語): High-Speed Nitridation of Titanium using Ar-N2-H2 Pulse Modulated Induction Thermal Plasmas with Different Gas Injection Positions.

著者名: 伊藤 智幸(金沢大学),藤本 健太(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Tomoyuki Ito(Kanazawa University),Kenta Fujimoto(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 熱プラズマ|パルス変調熱プラズマ（PMITP）|非平衡状態|窒素原子|窒化処理|XRD分析|Thermal plasma|pulse-modulated induction thermal plasmas(PMITP)|non-equilibrium state|excited nitrogen atom|nitridation process|X-ray diffraction.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 750 Kバイト