フィードバック制御型変調誘導熱プラズマ炉の開発?プラズマ温度の波形追随?

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09117

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/11/13

タイトル(英語): Development of the Feedback Control Modulated Induction Thermal Plasma-Control of Time Evolution in Thermal Plasma Temperature to Follow a Given Waveform-

著者名: 坪川 祐樹(金沢大学),上坂洋介 (金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Yuki Tsubokawa(Kanazawa University),Yosuke Uesaka(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 変調誘導熱プラズマ|PIDフィードバック制御|MOSFETインバータ|温度制御|Modulated induction thermal plasma|PID feedback control|MOSFET inverter|Temperature control

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 759 Kバイト