水素ガス導入によるICP合成ZnO透明導電膜の低抵抗化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09127

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/11/14

タイトル(英語): Reducing the resistance of ZnO transparent conductive film synthesized in ICP by introducing hydrogen gas

著者名: 吉田 善紀(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),池畑 隆(茨城大学)

著者名(英語): Yoshinori Yoshida(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University)

キーワード: ICP|Zn-O2-H2混合プラズマ|ZnO透明導電膜|ICP|Zn-O2-H2 mixture plasma|ZnO Transparent Conductive Film

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 513 Kバイト