ECRリモートプラズマを用いたCuxO.ZnOヘテロ接合による光起電力の発生

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09128

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/11/14

タイトル(英語): Generation of photovoltage for CuxO.ZnO heterojunction by employing ECR remote plasma

著者名: 橘川 裕太(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),池畑 隆(茨城大学)

著者名(英語): Yuta Kitsukawa(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University)

キーワード: ZnO透明導電膜|ECRリモートプラズマ|CuxO.ZnOヘテロ接合|ZnO transparent conductive film|ECR remote plasma|CuxO.ZnO heterojunction

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 832 Kバイト