誘導結合型フロロカーボンプラズマのシミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09129

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/11/14

タイトル(英語): Simulation on Inductively-Coupled Fluorocarbon Plasmas

著者名: 板津史明 (中部大学),長田広光 (中部大学),早河健祐 (中部大学),中村圭二 (中部大学),田中正明 (ペガサスソフトウェア)

著者名(英語): F.Itazu (Chubu University),H.Nagata (Chubu University),K.Hayakawa (Chubu University),K.Nakamura (Chubu University),M.Tanaka (PEGASUS Software Inc.)

キーワード: フロロカーボンプラズマ|プラズマシミュレータ|電子密度|ラジカル密度|Fluorocarbon plasma|Plasma simulator|Electron density|Radical density

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,103 Kバイト