リング状ホロー溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09130

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/11/14

タイトル(英語): Production of high-density capacitive coupled plasma using a powered electrode with a ring-shaped trench

著者名: 大津 康徳(佐賀大学),浦崎 浩史(佐賀大学),三沢 達也(佐賀大学),藤田 寛治(佐賀大学)

著者名(英語): Yasunori Ohtsu(Saga University),Hiroshi Urasaki(Saga University),Tatsuya Misawa(Saga University),Hiroharu Fujita(Saga University)

キーワード: リング状溝電極|高周波ホロー陰極効果|容量結合放電|溝のサイズ|電子平均自由行程|ring-shaped trench|radio-frequency hollow cathode effect|capacitively coupled discharge|trench size|electron-neutral mean free path

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 427 Kバイト