対向電極型HPPSグロープラズマ源が放出するプラズマ流の電流電圧特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09131

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/11/14

タイトル(英語): The current-voltage characteristics of plasma flow from confrontation electrode type High Power Pulsed Sputter(HPPS)glow discharge

著者名: 東 欣吾(兵庫県立大学),行村 建(神戸製鋼所),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Kingo Azuma(University of Hyogo),Ken Yukimura(KOBE STEEL,LTD.),Hirosi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|プラズマイオンプロセス|Pulsed discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|Sputter|Plasma ion process

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 602 Kバイト