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H2-N2系グロー放電プラズマ中の電子エネルギー状態

H2-N2系グロー放電プラズマ中の電子エネルギー状態

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カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09134

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2009/11/14

タイトル(英語): Electron energy distribution in H2-N2 glow-discharge plasma

著者名: 仲田英起 (東京電機大学),和賀井 達也(東京電機大学),本橋 光也(東京電機大学),本間 和明(東京電機大学)

著者名(英語): Hideki Nakada(Tokyo Denki University),Tatsuya Wagai(Tokyo Denki University),Mitsuya Motohashi(Tokyo Denki University),Kazuaki Homma(Tokyo Denki University)

キーワード: H2-N2プラズマ|電子エネルギー分布|プローブ法|発光分光分析|H2-N2 Plasma|Electron energy distribution|Probe method|Optical emission spectroscopy

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 541 Kバイト

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