窒素混合表面波プラズマのプローブ計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST09135

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　プラズマ研究会

発行日: 2009/11/14

タイトル(英語): Probe measurement of nitrogen mixture gas surface wave plasma

著者名: 大坪弘治 (東京都市大学),小野 茂(東京都市大学)

著者名(英語): Koji Ohtsubo(Tokyo City University),Shigeru Ono(Tokyo City University)

キーワード: 表面波プラズマ|振動励起分子|Surface wave plasma|Vibrationally excited molecule

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 487 Kバイト