誘導結合型フロロカーボンプラズマの解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10011

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/05/08

タイトル(英語): Analysis on inductively-coupled fluorocarbon plasmas

著者名: 中村 圭二(中部大学),板津 史明(中部大学),田中 正明(ペガサスソフトウェア)

著者名(英語): Nakamura Keiji(Chubu University),Itazu Fumiaki(Chubu University),Tanaka Masaaki(PEGASUS SOFTWARE INC.)

キーワード: プラズマ|フロロカーボン|電子|ラジカル|plasma|fluorocarbon|electron|radical

要約(日本語): 先端の半導体デバイスでは、プラズマプロセスに対する要求も厳しくなっている一方、近年の著しい計算機能力の向上に伴い、複雑なプラズマ現象をシミュレーションによって再現できる状況になりつつある。本研究では、内部アンテナを用いた誘導結合型フロン系プラズマの様々な内部パラメータについて、汎用のプラズマシミュレータにより求めるとともに、実験的な検証を行い、電子についての挙動は両者でよく一致することがわかった。

要約(英語): In manufacturing advanced semiconductor devices, requirement to plasma processing becomes more severe. On the other hand, development of plasma simulation technology is going to enable us to understand complicated phenomena in processing plasmas. In this study, internal parameters are computed, and the obtained results are compared with previously-reported experimental data.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 617 Kバイト